快速精確的薄膜檢測(cè)

介紹

泵浦-探測(cè)采樣是一種強(qiáng)大有效的技術(shù)，主要用于觀察材料和生物系統(tǒng)中的超快過(guò)程 （fs到 ns）。將超短激光脈沖（“泵浦"脈沖）照射到樣品上，從而激發(fā)樣品內(nèi)的物理過(guò)程或化學(xué)反應(yīng)。隨后，一束有時(shí)間延遲的第二束激光脈沖（“探測(cè)"脈沖）穿過(guò)樣品，以測(cè)量由于初始激發(fā)而導(dǎo)致的樣品光學(xué)性質(zhì)的變化。通過(guò)改變泵浦脈沖和探測(cè)脈沖之間的延遲時(shí)間，可以獲得樣品對(duì)泵浦脈沖響應(yīng)的詳細(xì)時(shí)間記錄，且具有較高的時(shí)間分辨率。

泵浦-探測(cè)采樣在材料科學(xué)和化學(xué)領(lǐng)域特別有用，它有助于理解能量轉(zhuǎn)移、光化學(xué)和其他重要過(guò)程的基本機(jī)制。實(shí)現(xiàn)高性能泵浦-探測(cè)測(cè)量系統(tǒng)有多種方法。下圖從概念上比較了實(shí)現(xiàn)優(yōu)異性能的泵浦-探測(cè)裝置所需的設(shè)備。K2-Photonics激光解決方案能夠以簡(jiǎn)單的方式實(shí)現(xiàn)高性能的泵浦-探測(cè)測(cè)量，使這種泵浦-探測(cè)方法在實(shí)際應(yīng)用中易于部署。

主要挑戰(zhàn)：光學(xué)延遲掃描

更長(zhǎng)的泵浦-探測(cè)延遲通常是解析表面聲波和熱動(dòng)力學(xué)所必需的，在皮秒超聲等應(yīng)用中也是如此。長(zhǎng)掃描范圍能夠研究總厚度達(dá)數(shù)十微米的復(fù)雜薄膜疊層，例如現(xiàn)代半導(dǎo)體微芯片中遇到的那些。不幸的是，使用機(jī)械延遲線(xiàn)進(jìn)行如此長(zhǎng)距離的掃描速度很慢，由于光束偏轉(zhuǎn)或發(fā)散容易產(chǎn)生系統(tǒng)誤差，并且需要復(fù)雜的光機(jī)械系統(tǒng)。此外，緩慢的光學(xué)延遲掃描速度需要對(duì)信號(hào)進(jìn)行鎖相檢測(cè)以獲得高靈敏度，這進(jìn)一步增加了系統(tǒng)的復(fù)雜性。

無(wú)需移動(dòng)部件的快速光學(xué)延遲掃描：雙激光方法

異步光學(xué)采樣（ASOPS）是一種在泵浦 - 探測(cè)測(cè)量中獲取長(zhǎng)光延遲掃描的替代方法。它使用兩種不同的光脈沖速率，一種用于泵浦光，另一種用于探測(cè)光，這使得能夠精確且快速地掃描兩者之間的光延遲。這種技術(shù)常用于超快光聲和其他瞬態(tài)吸收研究。掃描范圍由泵浦光的重復(fù)頻率決定，掃描速度則由泵浦光和探測(cè)光的重復(fù)頻率之差決定。

下表總結(jié)了ASOPS的關(guān)鍵參數(shù)：

異步光采樣（ASOPS）通常使用兩個(gè)獨(dú)立的超快激光器來(lái)實(shí)現(xiàn)，這兩臺(tái)激光器通過(guò)高頻鎖相環(huán)和高帶寬反饋電子設(shè)備進(jìn)行同步。使用異步光采樣（ASOPS）實(shí)現(xiàn)精確的定時(shí)控制需要高測(cè)量和反饋帶寬，以在時(shí)間軸上獲得飛秒級(jí)的精度。

無(wú)移動(dòng)部件的快速光學(xué)延遲掃描：?jiǎn)渭す夥椒?/span>

K2-Photonics公司為異步光采樣（ASOPS）技術(shù)研發(fā)出了一種解決方案，該方案使用單臺(tái)激光器實(shí)現(xiàn)光延遲掃描，無(wú)需兩個(gè)獨(dú)立的超快激光器。這是通過(guò)在單個(gè)激光腔內(nèi)產(chǎn)生兩束脈沖序列來(lái)實(shí)現(xiàn)的，每束脈沖序列可分別用作泵浦源和探測(cè)源。

與傳統(tǒng)的雙激光器異步光采樣系統(tǒng)相比，這種單腔雙梳狀激光解決方案具有諸多優(yōu)勢(shì)。首先，它極大地簡(jiǎn)化了實(shí)驗(yàn)裝置，減少了所需的組件數(shù)量，使系統(tǒng)更加緊湊和穩(wěn)定。其次，由于泵浦源和探測(cè)源都來(lái)自同一個(gè)激光腔，具有相關(guān)的脈沖噪聲特性，因此提高了時(shí)間軸的穩(wěn)定性。這消除了兩個(gè)獨(dú)立立激光器之間對(duì)電子反饋回路的需求，大大提升了系統(tǒng)的整體穩(wěn)定性。 

散粒噪聲限制信號(hào)檢測(cè)能力

K2 Photonics 選擇了固態(tài)激光技術(shù)來(lái)創(chuàng)建他們的單腔雙梳激光器系統(tǒng)。該技術(shù)使激光在高頻下具有超低強(qiáng)度的噪聲。通常，對(duì)于高于 1 MHz 的頻率，相對(duì)強(qiáng)度噪聲 （RIN） 低于 -160 dBc/Hz。這種低本底噪聲對(duì) ASOPS 特別有利，因?yàn)榇蠖鄶?shù)感興趣的信號(hào)位于不受激光噪聲影響的高頻上。事實(shí)上，信號(hào)上的噪聲主要來(lái)自探針檢測(cè)光電二極管的散粒噪聲，這僅由光電二極管的探針功率和響應(yīng)度決定。因此，在 K2 Photonics 系統(tǒng)中使用固態(tài)激光技術(shù)可實(shí)現(xiàn)更高的信噪比 ASOPS 測(cè)量，并具有優(yōu)異的線(xiàn)性時(shí)間延遲軸，使其成為超快光譜和其他應(yīng)用的更靈敏的工具。

K2 Photonics 在泵浦探測(cè)應(yīng)用中的優(yōu)勢(shì)

•  精度高

單腔結(jié)構(gòu)和共噪聲抑制確保了整個(gè)光學(xué)延遲掃描過(guò)程中時(shí)間軸上的飛秒級(jí)精度。

•  體積小

無(wú)需機(jī)械延遲塊和鎖相放大器，大大簡(jiǎn)化了高性能泵浦探頭設(shè)置的實(shí)現(xiàn)流程。

•  靈敏度高

鎖模固體激光器在高頻下產(chǎn)生具有超低噪聲（RIN 和定時(shí)）的激光，可實(shí)現(xiàn)高靈敏度測(cè)量。